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转换器薄膜热流传感器的制造和测试
来源:长显tekscan_热电堆传感器厂家_热释电红外传感器_热电堆传感器应用电路_台湾热电堆传感器原厂_热电堆传感器应用_热电堆 电路_热释电红外传感器工作原理及结构说明_热释电传感器_红外传感器_超薄感应_红外传感器_红外测温传感器_热释电传感器_火焰传感器_热电堆传感器_精准压力数据 | 发布时间:2021/7/15 22:29:58 | 浏览次数:

–使用热流时,未被热阻层(B&C)覆盖的桥的两个元件的表面温度为TS,热阻膜(a&D)下的其他两个元件的温度为TF

–元件的电阻分别为R0[1+β(TS-T0)]和R0[1+β(TF-T0)],其中β是电阻的线性温度系数。

11

图6单面薄膜惠斯通电桥热通量传感器

惠斯通热通量传感器

•方法(续):

–当电桥励磁为V(伏特)时,单臂输出为:

另一只手臂上是:

–然后传感器的输出

(请注意,电阻的初始值R0将取消。)

–对于图7所示的单侧仪表,通常

溅射约5μm SiO2(k1=1.4 W/m/K)在

适当的桥臂

–在这种情况下,输出约为68(μV/V)/(W/cm2)

12

2.( ) ( )

( )

0 0

2.1吨

T T

V V V V V

F和S

S F公司

信号   

  

  

      0 0 0 0

0 0

2 1 1

1.

T T R公司

R T T

V V V

S F公司

S

    

 

 

  

      0 0 0 0

0 0

1 1 1

1.

R T T R T T

R T T

V V V

S F公司

F

    

 

 

模型瞬态响应

13

单面薄膜热流传感器

短时瞬态响应

0

5.

10

15

20

25

30

35

40

45

50

0 2 4 6 8 10

时间(μs)

信号(μV/V/W/cm²)

单面薄膜热流传感器

长期瞬态响应

0

10

20

30

40

50

60

70

0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5

时间(ms)

信号(μV/V/W/cm²)

双面薄膜热流传感器

短时瞬态响应

0

10

20

30

40

50

60

70

80

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1

时间(ms)

信号(μV/V/W/cm²)

双面薄膜热流传感器

长期瞬态响应

0

50

100

150

200

250

300

350

400

450

500

0.00 0.10 0.20 0.30 0.40 0.50

时间(s)

信号(μV/V/W/cm²)

参考文献:

•改进设计的薄膜热流传感器,G。弗雷利克,J。弗班克,C。布拉哈,NASA TM 2002-21156

•陶瓷基复合材料(CMC)系统用薄膜热流传感器,John D。弗班克,古斯塔夫C。弗莱克,加里W。亨特,朱东明,基马拉L。拉斯

 
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