基于PCB技术的电容式传感器用于气泡内部流体流量检测摘要：

本文介绍了一种基于印刷电路板（PCB）的低成本高精度三电极电容传感器的设计和性能，该传感器能够检测流体通道内的气泡。传感器的电极被设计和制造在PCB的铜通孔上，以检测流过PCB的液体内部的气泡。利用所提出的感测结构，即垂直穿过电容式传感器的流体，不仅可以通过三个电极电势之间的不平衡信号来监测液流内部气泡的存在，而且可以从获得的信号的幅度和宽度来识别气泡的体积和速度。该传感器检测水槽内气泡的灵敏度和分辨率分别为23.5 mV/mm3和0.34 mm3，显示出其潜在的微型压电加速度计

微型陶瓷剪切ICP®加速度计采用高灵敏度压电陶瓷传感元件结构，具有出色的信噪比和高测量分辨率，是进行低水平振动测量的理想选择。由于其固有的更高灵敏度，陶瓷ICP®加速度计可以用比类似石英单元更小的质量组装，从而使传感器重量更轻、频率响应更高、噪声下限更低。

为了进一步降低传感器的质量，所有陶瓷剪切加速度计都安装在坚固、轻便、激光焊接、密封的钛或铝外壳中。通过最小化传感器的质量，减少了质量负载效应，从而最大限度地提高了所获得数据的准确性。

电荷输出微型加速度计的工作温度高达+500°F（+260°C），允许在极端环境和现有电荷放大系统中进行测量